エキシマレーザアニール装置（ELA）に関する調査

日本マーケティングクリエーションでは、エキシマレーザアニール装置（ELA）に関する調査実績があります。

エキシマレーザアニール装置（ELA）
ELA装置は、ガラス基盤上に成膜されたアモルファス(非結晶)シリコン膜にエキシマレーザを照射し、ポリシリコンに改質する装置です。

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